�� ��:
��ˮƽ���{����й©�����^�O��ˮƽ���󾯆���
���S�˶���SF6��R12��������������Ӳ��@�ԵĚ��w�����x��*
���ε��Ñ��٘˶�����
�\��ˆδ_�����Ϡ�B

�ء��c��
��yʽ��ʹ�÷��� 
��Ӳ��@ECDԭ��
����푑��ͻ֏�
��λй©�c
������
�@ʾй©�ʻ���
RS232���д�ӡ�C�ӿ�
0-2 ��ģ�Mݔ��
�Ñ����{�Ĉ�ˮƽ�O��
�y��ֵ�惦
���ε��Ñ��˶�����
���ù����\��
Q200��һ�_��yʽ�x�������������䣬�Դ/���������ӻ�·�����É��s���ƿ�����@����̽�y��λ�����ᘌʽ̽�^�ȣ�ͨ�^һ��2.5���L����|�c���@����Ԫ���B�����ᘌʽ̽�^��Ԫ����һ�@ʾ����������ʹ���߱Oҕ�y����r����ʹ�ڜy�����y��λ�á�
���gҎ����
̽�y��ֵ
��й©�ʣ�1X 10-8mL/s SF6(���x����x��ë�������̽�^���t��1x10-10mL/s SF6)
�⡡�ȣ�0.01 ppm
��y��������1X 10-8mL/s --1X 10-5mL/s��H���YƬ��1X10-10 mL /s --1X10-7mL/s
��ë�������̽�^��1X 10-6mL/s --1X 10-3mL/s��L���YƬ��
��ߡ��磺���w��43X 40X 23 cms
���ء��������ᘌʽ̽�^��0.9����
����ӿ��Ɔ�Ԫ��12����
��̽�y����ECD΢����Ӳ��@̽�y��
��푑��r�g�� 1��
��֏͕r�g�� 2��
���@��ʾ��������ĸ�@ʾ����ml/sec, ppm, gm/yr��oz/yr�@ʾ
��⡡Դ������600�����߼��Ț��ƿ������100bar�����B�mʹ��18��С�r
����늳أ���늕r�g10��С�r���ɹ���8��С�r