
ZNPZSF6���w�C�Ϸ����x�S��
��Ҫ������ZNPZSF6���w�C�Ϸ����x�S���Ǽ�SF6¶�c�x�� SF6���ȃx�� SF6�ֽ�a��x��һ�w����ԭ��Ҫ�����_�x�����܌��F�Ĺ��ܣ�������һ�_�x����һ�άF���y��������������ָ�˙z�y�����ʡ�O���еĚ��w��һ�Μy����ʡ2/3���w������ͬ�r�p���Ñ��Ĺ�����������˹���Ч�ʡ�
�aƷ�r��9879
�S�����|�����a�S��
�������ڣ�2025-02-18
�L �� ����158
ZNPZSF6���w�C�Ϸ����x�S���Ǽ�SF6¶�c�x�� SF6���ȃx�� SF6�ֽ�a��x��һ�w����ԭ��Ҫ�����_�x�����܌��F�Ĺ��ܣ�������һ�_�x����һ�άF���y��������������ָ�˙z�y�����ʡ�O���еĚ��w��һ�Μy����ʡ2/3���w������ͬ�r�p���Ñ��Ĺ�����������˹���Ч�ʡ�
SF6���: l �y������:¶�c-80~+20��(֧��ppmv��) l ¶�c����:±2��(��¶�c�ضȵ���0�棬������ݔ����˪�c) l �� �� ��:¶�c0.1���0.1ppm l �� �� ��:±0.5�� l ���w����:SF6�{����0.5~0.9L/min l ̽�^���o:���P䓟��Y�^�V�W |
SF6����: l �y������: 90~100% SF6; l ���Ⱥ��؏���: ±0.5%���c�����o�P; l 푑��r�g: 90%�� 30s; l ������:��I�������� |
- ��һƪ��ZNP8610�C��ʽȡ�ӷ�����Ԫ�S��
- ��һƪ��ZNPQSF6ȡ���b�ÏS��